潔凈室的四大技術(shù)要素：

一、送風(fēng)至少經(jīng)過三級過濾（粗效、中效和高效），并且高效過濾器應(yīng)設(shè)置在系統(tǒng)的末端。

二、潔凈室應(yīng)有足夠的凈化和空調(diào)的送風(fēng)量。

三、潔凈室應(yīng)維持必要的壓力梯度（正壓梯度或負(fù)壓梯度）。

四、潔凈室應(yīng)有合理的氣流組織。

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潔凈室的分類：

按氣流流型潔凈室可劃分為：單向流潔凈室；非單向流潔凈室；混合流潔凈室；矢流潔凈室。

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單向流潔凈室：

單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。

垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運(yùn)行費(fèi)很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。

水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍?。該氣流可?chuàng)造100級的凈化級別。其初投資和運(yùn)行費(fèi)低于垂直單向流流型。

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非單向流潔凈室：

非單向流潔凈室的氣流流型又可分為頂送下回；頂送下側(cè)回；頂送頂回等。

非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)；回風(fēng)的型式有下部回風(fēng)、側(cè)下部回風(fēng)和頂部回風(fēng)等。依不同送風(fēng)換氣次數(shù)，實(shí)現(xiàn)不同的凈化級別，其初投資和運(yùn)行費(fèi)用也不同。

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混合流潔凈室：

混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。這種氣流的特點(diǎn)是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運(yùn)行費(fèi)。

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矢流（對角流）潔凈室：

選上側(cè)圓弧型高效過濾器風(fēng)口送風(fēng)，對側(cè)下回風(fēng)口回風(fēng)的氣流流型。

矢流潔凈室的氣流是以放射型的流線流出，流線之間沒有豎向交叉，可用相對少量的送風(fēng)獲得較高級別的潔凈度。多用在醫(yī)藥、醫(yī)療和電子等行業(yè)的小潔凈室中。在某些特殊的實(shí)驗(yàn)室中也得到廣泛的應(yīng)用。

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不同潔凈級別潔凈廠房的送風(fēng)量、冷量投資耗電的指標(biāo)

注：表中的送風(fēng)量、單向流以斷面風(fēng)速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。

表中冷量指標(biāo)一般指電子工業(yè)潔凈廠房。表中的初投資包括潔凈廠房的圍護(hù)、冷凍供應(yīng)系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動(dòng)控制的投資。表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。

按潔凈室主要控制對象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室；生物潔凈室。

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工業(yè)潔凈室：

工業(yè)潔凈室主要的控制對象是灰塵粒子（不分有生命的、無生命的）。

工業(yè)潔凈室主要應(yīng)用在電子、航天、航空、機(jī)械、化工、化學(xué)制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術(shù)。

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生物潔凈室：

生物潔凈室主要控制對象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等對人類、動(dòng)物、環(huán)境有害的粒子。

生物潔凈室廣泛地應(yīng)用在醫(yī)療（潔凈手術(shù)室、潔凈病房）、生物制藥、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、衛(wèi)生防疫檢疫的事業(yè)中。生物潔凈室的發(fā)展速度非常快，而且得到了各方的認(rèn)同和重視。

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潔凈室潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)：

ISO-14644是國際標(biāo)準(zhǔn)，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標(biāo)準(zhǔn)，美國原來應(yīng)用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209B，現(xiàn)在它們分別被國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)中的5級、6級、7級和8級所替代。

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ISO-14644的潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)列如下：

潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級

注：① 每點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。

③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。

④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）：

（個(gè)/m3）

式中，N為潔凈度等級在1~9級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。

國標(biāo)潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的比較如下：

國際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644與各國標(biāo)準(zhǔn)的比較表

注：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E已經(jīng)停止使用。

潔凈室的消防、節(jié)能和環(huán)保：

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潔凈室的消防：

一、潔凈室建筑不利于防火的因素：

1、空間密閉、圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性好，一旦火災(zāi)溫度會(huì)迅速上升，大量煙氣不易排出，令人窒息又不利于疏散和撲救。

2、潔凈室建筑內(nèi)各種關(guān)卡多，對外出口少，疏散通道不暢，延長了疏散距離和時(shí)間。

3、潔凈室建筑裝修有一些高分子的合成材料會(huì)產(chǎn)生濃煙和毒氣。工藝生產(chǎn)中往往會(huì)使用大量的易燃易爆的化學(xué)物質(zhì)也是潔凈室潛在的火災(zāi)威脅。

因此潔凈室的防火和人員疏散非常重要。

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二、潔凈室建筑耐火等級

1、甲乙類潔凈室建筑的耐火等級應(yīng)為一級或二級，宜為單層建筑，其最大占地面積不易超過3000m2。

2、丙、丁、戊類潔凈室建筑的耐火等級可為一級或二級，可為單層或多層，除丙類建筑占地面積不應(yīng)超過8000m2（單層、二級）；6000m2（多層、二級）；4000m2（多層、三級）外，丁類和戊類占地面積不限。

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三、潔凈室人員的安全疏散

在進(jìn)行潔凈室平面規(guī)劃時(shí)考慮人員疏散的原則

1、疏散路線要簡捷明了，便于尋找和識(shí)別。

2、疏散路線要做到步步安全（著火房間→房間門→疏散走道→樓梯間→室外）。

3、撲救線路不要與疏散路線交叉。

4、疏散通道要通暢，少曲線，少高低不平，少寬窄變化。

5、疏散方向至少有2個(gè)可供人員疏散。

6、疏散門的開啟方向應(yīng)有利于人員的疏散逃生。

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四、潔凈室建筑材料的防火

1、潔凈室內(nèi)部的裝修材料應(yīng)盡量避免采用在燃燒時(shí)產(chǎn)生大量濃煙和有毒氣體的高分子合成材料。根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”規(guī)定：潔凈室的頂棚和壁板（包括夾心材料）應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。

2、特別要重視參觀走廊的隔墻（包括大面積玻璃窗）的耐火極限問題。

3、技術(shù)豎井的井壁的耐火極限也不應(yīng)低于1.0 h。

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潔凈室的水消防：

一、室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)

室內(nèi)、外消火栓供水系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室生產(chǎn)工作間火災(zāi)危險(xiǎn)性類別，建筑物的耐火等級以及建筑物的體積等因素目前應(yīng)根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”確定，當(dāng)“消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范”頒布后應(yīng)按新規(guī)范執(zhí)行。

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二、自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)

自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)的用水量應(yīng)根據(jù)潔凈室的火災(zāi)危險(xiǎn)性等級和“自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”確定。自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。

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三、潔凈室各個(gè)場所必須配置滅火器，其設(shè)計(jì)應(yīng)滿足“建筑滅火器配置規(guī)范”的要求。除消防給水外，還應(yīng)設(shè)置必要?dú)怏w滅火系統(tǒng)等。

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潔凈室電氣消防：

一、潔凈室的電源和供配電

根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。

1、消防電源的負(fù)荷分級應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)“供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求。

2、消防用電的設(shè)備應(yīng)采用專用的供電回路，當(dāng)生產(chǎn)、生活用電切斷時(shí)，應(yīng)仍能保證消防用電，其配電設(shè)備應(yīng)有明顯的標(biāo)志。

3、消防用電設(shè)備的管線應(yīng)滿足火災(zāi)時(shí)連續(xù)供電，并且管線應(yīng)有防火要求。

4、消防應(yīng)急照明燈具和疏散指示標(biāo)志燈的備用電源的連續(xù)供電時(shí)間應(yīng)滿足實(shí)際消防要求。

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二、潔凈室的消防照明

1、潔凈室內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散通道的轉(zhuǎn)角處應(yīng)按“規(guī)范”設(shè)置疏散標(biāo)志（疏散指示燈）。

2、在專用的消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。

3、消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機(jī)房、配電室、防排煙機(jī)房以及發(fā)生火災(zāi)時(shí)仍需正常堅(jiān)持工作的其他房間應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明。

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三、潔凈室的消防報(bào)警和控制

1、潔凈室的生產(chǎn)區(qū)（包括技術(shù)夾層）、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器（感溫探測器、感煙探測器或空氣采樣器等），及早預(yù)知、早報(bào)警。

2、潔凈室生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。

3、潔凈室應(yīng)設(shè)置消防值班室（或控制室），消防控制室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。

4、消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠，應(yīng)有合格的顯示功能。

5、消防報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行如下：

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消防聯(lián)動(dòng)控制：

① 啟動(dòng)消防水泵（除自控外還應(yīng)設(shè)手動(dòng)控制裝置）。

② 關(guān)閉電動(dòng)防火閥，停止空調(diào)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)、新風(fēng)機(jī)，并收其反饋信號。

③ 關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門或防火卷簾門。

④ 點(diǎn)亮應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈。

⑤ 手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。

⑥ 啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音器，進(jìn)行人工和自動(dòng)廣播。

⑦ 控制電梯降至首層，并接收反饋信號。

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潔凈室的防排煙：

一、根據(jù)“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”的要求：潔凈室的疏散走廊和面積大于300m2的潔凈室均應(yīng)設(shè)置機(jī)械防排煙措施。

二、最新報(bào)批的“電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”中對潔凈室的防排煙系統(tǒng)的要求作了一些修訂，內(nèi)容是：潔凈廠房的疏散走廊應(yīng)設(shè)置防排煙系統(tǒng)，但對于大面積的電子工廠的潔凈廠房當(dāng)每50m2內(nèi)不超過一個(gè)工作人員時(shí)可不設(shè)置防排煙系統(tǒng)。

潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能：

潔凈室的空調(diào)負(fù)荷

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潔凈室的凈化空調(diào)負(fù)荷由下面幾部分組成：

一、室內(nèi)負(fù)荷

主要包括：

1、室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負(fù)荷。

2、室內(nèi)照明燈具的散熱負(fù)荷。

3、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負(fù)荷。

4、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷。

二、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負(fù)荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。

三、空氣循環(huán)時(shí)風(fēng)機(jī)（或FFU）的溫升和水泵的溫升負(fù)荷。

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潔凈室的空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)：

一、高級別潔凈室（100級，10級，1級）是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機(jī)的風(fēng)量非常大，高達(dá)400~500次/h換氣，而且風(fēng)機(jī)的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大。按理論計(jì)算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機(jī)的溫升為1.5℃，僅此一項(xiàng)的負(fù)荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷也要250~350 W/m2。因此，風(fēng)機(jī)溫升的負(fù)荷大是其一個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

二、服務(wù)于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10~20次/h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負(fù)荷大約為400~800 W/m2；個(gè)別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負(fù)荷也還會(huì)更大。因此新風(fēng)負(fù)荷大是其第二個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

三、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負(fù)荷大，是高級別潔凈室的第三個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。生產(chǎn)負(fù)荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及水冷卻的情況有關(guān)。

四、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項(xiàng)負(fù)荷相對比較小，三項(xiàng)負(fù)荷之和還不足總空調(diào)負(fù)荷的10%（其中：照明負(fù)荷大約25~30 W/m2；圍護(hù)結(jié)構(gòu)負(fù)荷大約20~30W/m2；作業(yè)人員負(fù)荷大約10~15 W/m2），這是高級別潔凈室第四個(gè)負(fù)荷特點(diǎn)。

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潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施

潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應(yīng)首先從分析其空調(diào)負(fù)荷特點(diǎn)入手，抓住空調(diào)負(fù)荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級別潔凈室空調(diào)負(fù)荷中占90%以上的負(fù)荷是：新風(fēng)負(fù)荷、風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷和工藝設(shè)備和工藝過程負(fù)荷三項(xiàng)。這是它的主要矛盾。

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一、降低新風(fēng)空調(diào)負(fù)荷的節(jié)能措施

1、減少排風(fēng)量。改進(jìn)工藝和工藝設(shè)備，盡可能不排風(fēng)，少排風(fēng)。采取密閉式排風(fēng)罩在同等的排風(fēng)效果下盡量減少排風(fēng)量。

2、減少正壓漏風(fēng)量。加強(qiáng)潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風(fēng)量。

3、提高新風(fēng)空氣處理設(shè)備的效率。

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二、降低風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷的節(jié)能措施

1、在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風(fēng)量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。

2、加強(qiáng)空調(diào)設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風(fēng)量。

3、采取凈化送風(fēng)與空調(diào)送風(fēng)分離的送風(fēng)方案，使90%的凈化送風(fēng)量就近循環(huán)以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。

4、采用FFU加新風(fēng)機(jī)組加干盤管的送風(fēng)方式以減少風(fēng)機(jī)溫升負(fù)荷。

5、提高風(fēng)機(jī)效率，采取變頻措施。

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三、工藝設(shè)備和工藝過程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。

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四、除上述措施之外，還可采取如下措施

1、合理選擇和確定潔凈室內(nèi)的工藝參數(shù)（溫度、濕度、潔凈度）。

潔凈室的凈化空調(diào)是重點(diǎn)能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈室的潔凈度和溫、濕度時(shí)要慎之又慎。即在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，不應(yīng)過高過嚴(yán)要求。否則，其能耗會(huì)大幅度上升。有專家分析計(jì)算潔凈室內(nèi)溫度放寬1℃時(shí)其能耗可節(jié)省3%左右；其相對濕度放寬5%時(shí)其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負(fù)荷計(jì)算時(shí)安全裕量不應(yīng)留有過大，否則設(shè)備的耗電會(huì)大大增加，為了今后的發(fā)展最好留有動(dòng)力設(shè)備的空位。

2、優(yōu)化凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程

凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理過程的優(yōu)化對節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風(fēng)機(jī)溫升。

在“潔凈手術(shù)部和醫(yī)用氣體設(shè)計(jì)與安裝”的國家標(biāo)準(zhǔn)圖的例題中的計(jì)算結(jié)果是這樣的：對于一級潔凈手術(shù)室（北京）夏季耗冷量，當(dāng)采用一次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)是60 kW，而采用二次回風(fēng)系統(tǒng)時(shí)只有25kW，當(dāng)采用新風(fēng)機(jī)組深冷抽濕處理時(shí)其耗冷量只有20kW。

3、合理選擇凈化空調(diào)設(shè)備

① 設(shè)計(jì)建造潔凈室時(shí)要選用高效率的凈化空調(diào)設(shè)備（冷機(jī)、風(fēng)機(jī)、水泵）。

② 選擇低阻高效的過濾設(shè)備，風(fēng)機(jī)和水泵的壓頭選擇不宜過高。

③ 電動(dòng)設(shè)備最好采取變頻措施。

4、低位熱能的利用和廢熱的回收

低位熱能和廢熱回收的潛力非常大?，F(xiàn)在很多專家在這方面進(jìn)行了大量研究，如：工藝?yán)鋮s水的回收和利用；噴水氣化潛熱的利用；冷凍機(jī)、空壓機(jī)廢熱的回收以及利用冷凍水和中溫水回水混合制造中溫水等等。

5、加強(qiáng)水管和風(fēng)管的保溫。

6、減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。

7、采取熱回收，充分利用廢熱。

8、盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。

9、利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。

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潔凈室的環(huán)保工程：

潔凈室的廢水處理

一、工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進(jìn)行處理，處理后的廢水達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。

半導(dǎo)體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學(xué)中和沉淀法處理。其典型流程如下：

二、生物潔凈室特別是生物安全實(shí)驗(yàn)室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應(yīng)按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達(dá)標(biāo)才能排放。

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潔凈室的廢氣處理：

一、工業(yè)潔凈室，特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機(jī)廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后方能排到室外。

1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。

2、排放的有機(jī)廢氣超標(biāo)時(shí)必須經(jīng)過有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理達(dá)標(biāo)后再排放有機(jī)廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。

3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進(jìn)行中和處理達(dá)標(biāo)排放。

4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。

5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。

6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并通過專用的廢氣處理設(shè)備處理后達(dá)標(biāo)排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。

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二、生物潔凈室尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過中效過濾方能排到室外；P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外；P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進(jìn)袋出的高效過濾器裝置。

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一、收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

1、潔凈度等級的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644

2、“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2013

3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）

4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）

5、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2013

6、“實(shí)驗(yàn)動(dòng)物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2010

7、“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2011

8、“潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范”GB50591-2010

9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”（制訂中）

10、“民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50736-2012

11、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2016

12、“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50016-2014

二、該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級主管部門對報(bào)告的批復(fù)意見；該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書”和建設(shè)方對該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求、意見和建議。

三、該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。

四、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：

1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。

2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動(dòng)、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。

3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等。

4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。

五、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)：

1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。

2、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。

3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。