摘要:干凈廠房是我國的耗能大戶之一。據(jù)不完整統(tǒng)計,干凈室的能耗是一般寫字樓的10~3O倍。我國的8英寸芯片廠,干凈室單位面積能耗比美國同類型工廠高15%(美國耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我國耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某聞名芯片廠為例,其全年耗電量的51%是用于干凈室運轉(zhuǎn)及相關(guān)的維護(hù),假設(shè)將這51%的能耗合理降低,對企業(yè)來說就意味著利潤的增加。
因此,干凈室下流相關(guān)職業(yè)企業(yè)越來越注重干凈室的節(jié)能問題。這就懇求干凈室工程職業(yè)企業(yè),從客戶需求啟航,從規(guī)劃理念、制作......
干凈廠房是我國的耗能大戶之一。據(jù)不完整統(tǒng)計,干凈室的能耗是一般寫字樓的10~3O倍。我國的8英寸芯片廠,干凈室單位面積能耗比美國同類型工廠高15%(美國耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而我國耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某聞名芯片廠為例,其全年耗電量的51%是用于干凈室運轉(zhuǎn)及相關(guān)的維護(hù),假設(shè)將這51%的能耗合理降低,對企業(yè)來說就意味著利潤的增加。
因此,干凈室下流相關(guān)職業(yè)企業(yè)越來越注重干凈室的節(jié)能問題。這就懇求干凈室工程職業(yè)企業(yè),從客戶需求啟航,從規(guī)劃理念、制作施工、設(shè)備裝備及運轉(zhuǎn)等各個方面停止節(jié)能規(guī)劃,只需采取全方位的節(jié)能技能,整個干凈室職業(yè)才華繼續(xù)、良性展開。
空氣分子污染AMC作為IC工廠最關(guān)懷的問題于20年前最先由日自己提出,近年來,國際Ic卡技能展開疾速,IC芯片日益微型化,目前曾經(jīng)有贏徑為0.4lilln的國際最小的非觸摸型無線射頻辨認(rèn)芯片。AMC對當(dāng)前的IC消費其潛在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染操控只需求肯定粒徑及個數(shù),但對AMC操控而言,除了受芯片線寬的削減而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送體系等的影響。
更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在許多情況下其微量的分子剩余對下一工序常?;蛟S就是污染物。因此,IC消費過程中的某些加工工序及工序問的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問題,AMC分子操控技能成為干凈室規(guī)劃與施工建立的干流趨向。目前,國內(nèi)的干凈室工程職業(yè)企業(yè)中曾經(jīng)開端從事此方向的研討。