隨著電子行業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈技術(shù)也在飛速的發(fā)展中。潔凈空調(diào)系統(tǒng)是實現(xiàn)潔凈室控制的主要手段。潔凈室送風(fēng)和回風(fēng)設(shè)計是影響潔凈室是否達(dá)標(biāo)的重要因素，本文主要從回風(fēng)系統(tǒng)入手，提出在潔凈室回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計中易出現(xiàn)的問題，對其分析并提出解決辦法。

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1 .回風(fēng)口位置設(shè)置常見問題

目前，非單向流是潔凈室氣流組織的主要采用方式，即高效送風(fēng)口頂送（或側(cè)上送）側(cè)下回風(fēng)；高效送風(fēng)口布置形式為吊頂均布，或是布置于受保護(hù)的工藝生產(chǎn)線上方，回風(fēng)口布置于側(cè)墻下方。《工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50457-2008指出：回風(fēng)口位置宜遠(yuǎn)離潔凈工作臺；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備附近應(yīng)設(shè)排風(fēng)口；有局部排風(fēng)裝置或需排風(fēng)的工藝設(shè)備，宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。

由于送風(fēng)口的布置是影響房間氣流組織及空調(diào)參數(shù)的主要因素，因此，許多潔凈室回風(fēng)口布置存在以下幾點(diǎn)問題：有的回風(fēng)口隨意布置于空余墻角或墻邊，忽略了氣流流向?qū)に嚥僮髅娴挠绊?；有的設(shè)計回（排）風(fēng)口又遠(yuǎn)離產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備（如粉碎機(jī)等），這些工藝設(shè)備產(chǎn)生的污染空氣會流到相對潔凈區(qū)域甚至全潔凈室；有的回風(fēng)口布置的太少，回風(fēng)速度偏大，導(dǎo)致全室空氣流向一處，必然存在死角，潔凈空氣難以到達(dá)。

因此，在潔凈室空調(diào)設(shè)計時，要同時參考建筑底圖和工藝布置圖，根據(jù)工藝要求進(jìn)行設(shè)計：根據(jù)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)，潔凈度要求高的，回風(fēng)口布置在遠(yuǎn)離設(shè)備側(cè)；產(chǎn)塵或產(chǎn)生其它污染氣體的，回（排）風(fēng)口布置在最靠近設(shè)備處；同時，風(fēng)速不宜過大，以不大于2m/s為宜，這樣，才能保證潔凈室的潔凈度，不增加衛(wèi)生死角，最大限度的保證潔凈室工藝設(shè)備的安全有效使用。

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2. 回風(fēng)夾道共用問題

因潔凈室造價較高，常出現(xiàn)所留空調(diào)設(shè)計空間較小的情況，所以潔凈室空調(diào)設(shè)計中會出現(xiàn)兩相鄰潔凈室共用同一回風(fēng)夾道的情況，一般情況下，相鄰潔凈室壓差不同，這樣的設(shè)計導(dǎo)致相對壓力值低的潔凈室無法回風(fēng)，壓力高的房間空氣壓入相對低壓力房間，正壓值不能準(zhǔn)確調(diào)試，有序的壓力梯度分布保持潔凈室的潔凈度非常重要，而共用回風(fēng)夾道的設(shè)計和可能引起交叉污染。

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3. 回風(fēng)口設(shè)置過濾器問題

有些潔凈室在回風(fēng)口加設(shè)一層初效或中效無紡布過濾器，這種做法的好處：首先，增加潔凈室的美觀性；其次，增加回風(fēng)口的阻力，使得各潔凈室之間以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差好維持；再次，可過濾一部分大顆粒的粉塵。但該種做法也存在隱患。

潔凈區(qū)內(nèi)，各潔凈室之間或區(qū)域之間的靜壓值就形成了潔凈區(qū)內(nèi)的壓力梯度?；仫L(fēng)口上設(shè)置過濾器，增加了回風(fēng)阻力，回風(fēng)量減少，增加了泄漏風(fēng)量，因此形成了潔凈室的靜壓。但隨著回風(fēng)口上的過濾器容塵量的不斷增加，過濾器的阻力不斷增大，回風(fēng)量逐漸減少，導(dǎo)致潔凈室的靜壓不斷升高。對于固體制劑等發(fā)塵量較大的凈化車間，各潔凈室室內(nèi)的發(fā)塵量差距較大，發(fā)塵量較大的潔凈室的回風(fēng)口阻力的增加速率快于其他發(fā)塵量較小的潔凈室的回風(fēng)口阻力，經(jīng)過一段時間后，發(fā)塵量較大的潔凈室的靜壓值會高于原先靜壓值低于它的潔凈室，根據(jù)GMP規(guī)定，發(fā)塵量較大的潔凈室應(yīng)維持負(fù)壓，如若高于其他房間壓力，可能會造成空氣交叉污染。此外，過濾器有使用壽命，更換濾網(wǎng)不僅增加成本，同時還有可能損壞彩鋼板封邊。

因此，是否在回風(fēng)口加裝過濾裝置要根據(jù)實際生產(chǎn)情況而定，除了增加過濾器外，還可以通過減小回風(fēng)口的面積，并且使回風(fēng)口可調(diào)節(jié)，也可以形成潔凈室的靜壓，達(dá)到同樣的效果。

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4.結(jié)語

維持潔凈室穩(wěn)定壓差是防止污染物侵入和交叉污染的有限途徑，只依靠空間密封來維持潔凈室無菌和潔凈度是無濟(jì)于事的，回風(fēng)夾道的設(shè)計對于潔凈區(qū)域內(nèi)各不同級別的潔凈功能間不同的壓力控制有重要影響，因此設(shè)計時因結(jié)合實際情況考慮多方面因素，以確保潔凈氣流定向流動，氣流只能從潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū)，從高一級別潔凈室流向低一級別潔凈室，從同一潔凈室潔凈度要求高的區(qū)域流向要求低的區(qū)域，只有保證在任何情況下都能維持潔凈室內(nèi)有序的梯度壓力分布不變，才能真正有效的控制潔凈度。