潔凈室基礎(chǔ)知識

1、潔凈室：就是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。（《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GB50073-2001））

2、潔凈室適用場景：航空航天、芯片、半導體、醫(yī)療、光電子、工業(yè)等科研和實踐場景。

例如：由于半導體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。空氣中的塵埃狀況復雜，分布情況和粒徑大小。

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塵埃粒子的直徑分布

3、塵埃產(chǎn)生途徑：根據(jù)GB50073-2001的規(guī)定，35%由人員因素造成、25%由生產(chǎn)過程產(chǎn)生、25%由設(shè)備運轉(zhuǎn)產(chǎn)生、8%由原料中帶入、7%由空氣中漏入。

4、塵埃去除途徑：目前主要是通過空氣過濾器組合來實現(xiàn)，具體流程如下所示。

潔凈室管理原則

1、不將灰塵帶入：過濾器本身及外框無漏風；潔凈室需保持一定的正壓；作業(yè)人員需穿接警服并經(jīng)風淋；帶入的工具、材料等必須擦洗干凈。

2、不讓灰塵產(chǎn)生：正確穿著潔凈服；不使用容易發(fā)塵的物品及材料；減少不必要的人員走動；不用的物品嚴禁帶入。

3、不讓灰塵堆積：清掃作業(yè)不留死角，特別是不易清掃的角落和設(shè)備周圍；盡量減少風管、配管暴露于潔凈室內(nèi)；實施標準化的清掃作業(yè)。

4、迅速排除灰塵：增大換氣次數(shù)；設(shè)備發(fā)塵部位應有排氣；室內(nèi)的氣流形式應使得灰塵難以在產(chǎn)品上附著。

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潔凈室內(nèi)注意事項

1、潔凈室內(nèi)禁止跑動，走路時禁止拖防靜電鞋；

2、禁止閑聊、吵鬧、大聲叫人；

3、個人用品及食物禁止搬入潔凈室內(nèi)；

4、搬入資材及易耗品等產(chǎn)生物品時必須通風風淋合格箱進行洗潔作業(yè)后再搬入；

5、化妝或涂指甲油的人禁止出入；

6、防靜電帽、防靜電服外露出頭發(fā)、眼眉，一般服裝不正確時立即到更衣室點檢著裝之后再次通過風淋室后入室；

7、防靜電手套及手指套被破損或手污染時立即更換新的使用；

8、作業(yè)時防靜電帽、防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時更換新的使用；

9、開始作業(yè)時、終了時，休息時間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺及周邊；

10、作業(yè)臺上禁止防止不必要的物品；

11、禁止在潔凈室內(nèi)從事與工作內(nèi)容無關(guān)的事項；

12、完成工作后整理、整頓作業(yè)臺、尺工具及周圍后退室。